تأثیر بعض عوامل التحضیر على الخصائص البصریة لأغشیة ZnO المرسبة بتقنیة الترسیب البخاری الکیمیائی (CVD)
الملخص
الخلاصة:فی هذا البحث تم تحضیر أغشیة رقیقة لاوکسید الزنک ذات النفاذیة العالیة باستخدام تقنیة الترسیب البخاری الکیمیائی CVD، عند درجات حرارة ترسیب ومواقع داخل حجرة الترسیب مختلفة، وقمنا بدراسة خواصها البصریة. إن أعلى نفاذیة للأغشیة تم الحصول علیها کانت عند درجة حرارة 500 ºC، إذ کان معدلها حوالی 90% ضمن منطقة الطیف المرئی وفجوة طاقة بصریة حوالی 3.2 eV. أما أعلى نفاذیة تم الحصول علیها کانت عند موقع یبعد 16 سم من فوهة حجرة دخول الغازات.