دراسة الاستجابیة والکفاءة الکمیة لنبطیة P-N السیلیکونیة المحضرة بطریقة بلازما الحاقن النبضی
الملخص
استخدمت منظومة حاقن البلازما النبضی لتحضیر ثنائی وصلة P-N Junction حیث تم ترسیب مادة الأنتیمون على شریحة السیلکون نوع توصیلیة P ومادة الاندیوم على شریحة السیلکون نوع توصیلة N کأغشیة رقیقة وقصفت النماذج بأیونات الهیدروجین المعجلة والمتولدة فی منظومة حاقن البلازما النبضی. اجریت الفحوصات البصریة للثنائیات المحضرة لتقییمها ککواشف بصریة والتی شملت فحوصات الاستجابیة الطیفیة والکفاءة الکمیة والتحسسیة وقد أظهرت النتائج بأن هذه الکواشف ذات استجابیة وکفاءة کمیة أعلى للاطوال الموجیة للاشعة تحت الحمراء القریبة. وقد أظهرت کذلک تحسسیة عکسیة نسبیا وان الاستجابیة والتحسسیة تزداد بزیادة عدد التفریغات الکهربائیة للنماذج المحضرة ولوحظ زیادة فی زمن استجابة الکشف بزیادة تعرض النماذج إلى عدد أکبر من التفریغات الکهربائیة للنماذج المطعمة بالأنتیمون والاندیوم مما یتیح استخدامها فی کواشف الاستقبال العاملة فی مجال الاشعة تحت الحمراء القریبة وفی منظومات اللیزر لاشباه الموصلات العاملة ضمن الاطوال الموجبة (850mm إلى 950nm) وفی منظومات الاتصالات البصریة. وکذلک إمکانیة استخدام منظومة حاقن البلازما النبضی فی تحویر سطوح المواد وخاصة فی مجال تحویر سطوح أشباه الموصلات.
